为什么二次电子成像的分辨率很高？

因为二次电子是从试样表层直接产生的，入射电子在此区域尚未发生多次反射，这导致产生二次电子的具体区域范围，与入射电子束照射在样品上的面积几乎完全一致，几乎没有扩散。正是这种高度的空间对应关系，使得图像能够保持极高的清晰度，分辨率通常能达到5到10纳米的水平。

二次电子成像之所以拥有极高的分辨率，根本原因在于这些信号电子直接发自试样的最表层。由于它们源自极浅的深度，入射电子束在相互作用区内还没有经历频繁的散射和反射过程，这保证了信号源定位的精准性。