为什么二次电子成像的分辨率很高？
吃个橘子 二次电子成像之所以拥有极高的分辨率，根本原因在于这些信号电子直接发自试样的最表层。由于它们源自极浅的深度，入射电子束在相互作用区内还没有经历频繁的散射和反射过程，这保证了信号源定位的精准性。
吃个橘子 评论 (3)
解释得挺到位。二次电子逃逸深度只有几纳米，这点太关键了，直接决定了分辨率上限，不像背散射电子信号源深得多。
确实，核心就在于“浅”。因为二次电子能量很低，只能从表面极薄的几纳米深处逃逸出来，这直接限制了信号产生的体积效应，从而获得了超高的空间分辨率。
解释得很到位。其实除了浅层逸出这点，二次电子的能量通常很低（一般在50eV以下），这意味着它们受电磁场的引导能力更强，不易发生横向扩散，所以束斑效应小，分辨率自然高。相比之下背散射电子能量高，穿透深，信号来源范围大，分辨率反而受限。