EUV光刻机镜头的光滑度是多少？

EUV光刻机是全球技术壁垒最高的高端设备，目前仅有荷兰阿斯麦能制造，其镜头来自德国蔡司，对制造工艺有着极其严苛的要求，远超普通光学镜头标准。