EUV光刻机镜头的光滑度是多少？

EUV光刻机是全球技术壁垒最高的高端设备，目前仅有荷兰阿斯麦能制造，其镜头来自德国蔡司，对制造工艺有着极其严苛的要求，远超普通光学镜头标准。

评估EUV镜头质量的核心指标并非简单的光滑度，而是极致的平整精度，其精度要求相当于将一根头发的粗细与整个地球地平线进行对比，差距极小。

EUV光刻机镜头直径大约1.5米，其加工精度之高，意味着即便将镜头放大到几十公里的尺寸来看，其表面产生的误差也微乎其微，几乎不存在。