虽然能制造光刻机的国家屈指可数，但具备研发实力的企业名单依然值得关注。除了上述的ASML、上海微电子、佳能和尼康外，美国的英特尔、荷兰的飞利浦以及中国的中芯国际等公司也在该领域有所涉足，共同构成了当前光刻机行业的格局。
全球光刻机最强排名前十是哪些？
在极紫外光刻机技术方面，荷兰的ASML取得了重大突破，这使得其在光刻机行业中的地位变得不可撼动。凭借其技术优势，ASML不仅占据了全球80%以上的市场份额，更让竞争对手难以在短时间内实现超越，确立了其领头羊的位置。
关于光刻机产业链相关的上市公司，大族激光（002008）是一个值得关注的标的。该公司在研的光刻机项目分辨率达到3-5微米，主要聚焦于分立器件和LED等领域的应用，并在2021年中旬表示有望实现小批量销售，总市值约为419.89亿元。
全球光刻机制造领域目前主要由四家巨头垄断，这四家企业分别是荷兰的ASML、中国的上海微电子以及日本的佳能和尼康。这四家公司的产品合计占据了全球百分之九十五以上的市场份额，在行业内部拥有绝对的统治地位。
赛微电子（300456）一直为全球光刻机巨头ASML提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，是ASML的商业合作伙伴。公司在瑞典和北京均拥有数台光刻机，其中瑞典产线的产能利用率在2021年至2022年间一直保持在80%以上的高水平，总市值约136.71亿元。
晶方科技（603005）与光刻机巨头ASML有着深度的业务往来。ASML是公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon拥有混合镜头及晶圆级微型光学器件等核心技术，其产品广泛应用于半导体精密设备等领域，晶方科技因此受益，总市值约188.34亿元。
张江高科（600895）通过投资布局光刻机领域，其投资的上海张江浩成创业投资有限公司在2021年入股了上海微电子装备有限公司。投资金额达22,345万元，占比10.779%，这使得张江高科与国产光刻机龙头上海微电子建立了紧密的联系，总市值约253.99亿元。
万业企业（600641）的全资子公司凯世通采取了“领先一步”的策略，着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机。2021年，其低能大束流离子注入机成功迁机并进入晶圆验证阶段，显示出其在半导体关键设备领域的研发实力，总市值约133.34亿元。
ASML之所以能取得如此成就，离不开其独特的供应链整合能力。该公司1984年从飞利浦独立后，专门致力于光技术研发。其成功得益于德国近乎完美的机械工艺、德国蔡司提供的世界顶级光学镜头，以及美国提供的光源技术支持，三者结合促成了ASML的快速发展。
上海新阳（300236）正在加快开发光刻技术这一核心板块。其KRF光刻胶支持96层3DNAND研究，并在ArF干法、KrF厚膜胶等高端领域取得重大突破。此外，公司还在积极布局半导体硅片及湿法工艺设备等业务，中芯国际是其主要客户之一，总市值约120.85亿元。