光刻机和激光雕刻机有什么区别

光刻机和激光雕刻机最根本的区别在于加工方式不同。激光雕刻机是直接利用激光束对材料进行物理切割或雕刻,而光刻机并不是直接去切割或雕刻硅晶圆,它更像是一种光照技术,通过光线作用来改变材料性质。

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简单粗暴的比喻:激光雕刻机是“拿着激光笔在木头上刻字”,属于直接动刀子;光刻机则是“通过复杂的光学系统把电路图案投影到晶圆上,利用光化学反应显影”,相当于给芯片“洗”出来的。一个是物理去除,一个是化学改性,精度和原理确实天差地别。