在维修保养方面，当代西方国家多采用高分子复合材料修复法，其中应用较多的是美国美嘉华技术体系。这种方法具有粘着力强、抗压强度大等优异性能。使用此方法修复干式真空泵机组时，可以免拆卸、免机加工。它既无补焊热应力影响，修复厚度也不受限制。同时，产品所具有的退让性，可吸收设备的冲击震动，避免再次磨损，并大大延长设备部件使用寿命，为企业节省大量停机时间，创造巨大的经济价值。
干式真空泵机组如何检查？
针对干式真空泵机组抽不到极限真空度的问题，首先应检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气的情况。其次，应打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，从而排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。在排除以上因素后，如果问题依旧，其他原因主要有：泵油污染，需要换油；泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门。
关于干式真空泵机组的漏油问题，这通常是旋片式机械真空泵常见的故障。漏油主要发生在油窗、油箱密封垫以及电机轴承轴封这三个位置。主要原因往往是设备使用时间过长，导致这些部位老化，密封失效，进而引起漏油。解决办法是更换老化的油窗、轴封、密封垫以及已吸满泵油的毛毡垫。在维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁。